主要區(qū)別就在于其工程控制對象的不同。硅片邊緣曝光設備被動式空氣彈簧的工作原理是控制振動源,使得振動源無法將振動傳導到其他工業(yè)設備中,起到減震隔振的作用。而主動空氣彈簧的工作原理是保護受振動部件,使得受保護部件不會受到外來的振動源的影響。但是,主動空氣彈簧不會像被動式空氣彈簧那樣控制振動源的影響。因此,如果振動源能夠影響多個部件,則被動式空氣彈簧更加適合該工業(yè)生產(chǎn)過程。
有哪些特性
兩個重要特性就是其設計方案的精密性和組裝步驟的便捷性。通常能夠被廣泛運用在不同的設備中,具備良好的適應性。一些使用了高純度石墨復合型橡膠的密封件的被動式空氣彈簧,可以在出現(xiàn)氣體泄漏之后持續(xù)工作一段時間,該特性提高了在檢修方面的開放性。
綜上,被動式空氣彈簧在工業(yè)設備中具有廣泛的應用性,根據(jù)隔振對象、彈簧材料和工藝的不同,其性價比也就不同,需要在市場上與同類產(chǎn)品進行充分比較,才能選出能滿足需求的產(chǎn)品。